日本ORION好利旺復合型真空泵CBX系列

日本ORION好利旺復合型真空泵CBX系列是一款創新設計的干式真空泵，其核心創新在于將兩種成熟的真空技術--渦旋(Scroll)單元和爪式(Claw)單元--集成于一個泵體之內，通過串聯協作來實現單臺泵無法企及的高性能。這種復合結構旨在兼顧高真空度與大抽速，同時保持干式泵的潔凈優勢。

CBX系列的工作流程精密而高效。氣體首*入前置的爪式單元。爪式轉子以其大流量和強健的抽氣能力著稱，能高效地處理大量氣體，并從大氣壓開始快速建立初步真空，更重要的是，它能耐受微量的粉塵和可凝性蒸汽，起到了強大的預處理作用。隨后，經過預抽的氣體被送入后級的渦旋單元。渦旋泵以其能達到很好的真空度和極潔凈的特點而聞名，它負責將真空度進一步提升至更高的水平。渦旋單元在受到前級保護的情況下，可以在其最擅長的壓力范圍內高效工作，最終使整個CBX泵組達到一個非常優異的極限真空(通常<1Pa)

這種分工協作的復合式設計帶來了顯著優勢。首先，它實現了更寬的有效工作范圍，從大氣壓到高真空都能保持較高的抽氣效率，避免了單級泵在某個壓力區間抽速驟降的問題。其次，它增強了處理復雜工況的能力，前置的爪式單元像一個“衛士"，保護了精密的渦旋單元，提升了泵對工藝過程中出現的微小粉塵或可凝性蒸汽的容忍度，可靠性更高。當然，它繼承了所有干式泵的核心優點:提供絕對無油的潔凈真空，杜絕油蒸汽污染，并且維護成本極低，無需處理廢油和更換油濾。

綜上，好利旺CBX復合真空泵并非簡單的技術堆砌，而是基于深刻應用洞察的智能工程解決方案。它非常適合需要同時滿足高真空、大抽速、高潔凈度和一定抗污染能力的苛刻應用，例如半導體封裝、LED/MOCVD、真空鍍膜、科研實驗以及精密光學鍍膜等領域，是替代傳統多級泵組或油擴散泵的現代化、高效節能的優選方案。